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扫描电子显微镜成像原理和特点

发表时间:2021-07-02 14:26作者:宜沃检测

【摘要】哪里可以做扫描电镜测试 ?宜沃检测中心拥有独立的成分检测实验室,一般实验周期为3-5天。宜沃检测是一家面向全国提供检验测试服务的技术服务机构,检测资质齐全,自有设备,实验室仪器先进,科研团队强大,为客户提供科学的实验方案和强大的技术支持,支持全国上门取样/寄样检测服务。


扫描电镜成像是利用细聚焦高能电子束在样件表面激发各种物理信号,如二次电子、背散射电子等,通过相应的检测器来检测这些信号,信号的强度与样品表面形貌有一定的对应关系,因此,可将其转换为视频信号来调制显像管的亮度得到样品表面形貌的图像。

SEM工作图


入射电子与样品中原子的价电子发生非弹性散射作用而损失的那部分能量(30~50eV)激发核外电子脱离原子,能量大于材料逸出功的价电子从样品表面逸出成为真空中的自由电子,此即二次电子。

电子发射图


二次电子探测图


二次电子试样表面状态非常敏感,能有效显示试样表面的微观形貌,分辨率可达5~10nm。


二次电子扫描成像


入射电子达到离核很近的地方被反射,没有能量损失;既包括与原子核作用而形成的弹性背散射电子,又包括与样品核外电子作用而形成的非弹性背散射电子。


背散射电子探测图


用背反射信号进行形貌分析时,其分辨率远比二次电子低。可根据背散射电子像的亮暗程度,判别出相应区域的原子序数的相对大小,由此可对金属及其合金的显微组织进行成分分析。

EBSD成像过程


以上是对于SEM扫描电镜成像原理的相关介绍,如有其它检测需求可以咨询实验室工程师,为您一对一服务。



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